Vol.34 No.1
(1999年3月発行)
特集:マイクロセンサ用薄膜の機械的物性評価と解析


 

Contents(12K)

 

   
 Foreword
1

マイクロセンサを目指して(84K)


  長瀬宏
 Special Issue :マイクロセンサ用薄膜の機械的物性評価と解析
 Research Report
   
3

ポリシリコン薄膜における膜厚方向応力分布の解析と制御(268K)

 

 

景山恭行

 

11 多結晶Si膜の粒界キャラクタリゼーション (468K)  

中野由崇,井上敦子,
土屋智由,坂田二郎,
多賀康訓

 

19

薄膜の熱応力測定と制御(556K)

 

  山寺秀哉
25

薄膜の引張強度評価(364K)

 

 

土屋智由

 

 Review
31  
各務学,渡辺修
 Research Report
41  

高木順,森信行,
藤本正男

 

49  
谷裕文,所博治,
吉川和男
57  
渡辺久志
67  
則竹茂年,中野冠
75  
寺澤位好,小沢義彦
83  

杉浦元保,村瀬篤,
福本圭子,光岡拓哉,
辻正男

 

 Topics
93

半導体レーザシミュレータ(28K)

 

  大庭伸子
94

透過的着色による人間の色ずれ許容特性の計測(20K)

 

  川澄未来子
95

走査電子顕微鏡によるミクロ三次元構造観察技術 (24K)

 

  門浦弘明
96

ディーゼルエンジンのピストンリング摩耗解析
−オイル上がりおよび燃焼形態の影響−
(28K)

 

  大宮康裕,間瀬謙
 Promenarde
97

1998 R&D 100 Awardsを受賞して (548K)

 

  土屋智由
100

国際会議FATIPEC'98に参加して (444K)

 

  森寛爾

103


Patent

 

   
123

Papers

 

   
142

Awards